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激光震蕩衰減水分儀給檢測(cè)帶來(lái)便利

更新時(shí)間:2022-03-21      點(diǎn)擊次數(shù):1140
   激光震蕩衰減水分儀在許多領(lǐng)域都非常重要,例如光譜學(xué),化學(xué)分析、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)和工業(yè)生產(chǎn)中的污染物控制等。在過(guò)去二十年間,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步,半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的氣體中允許的不純度減少了四個(gè)數(shù)量級(jí)。
  
  該儀器在性能上做了重大改革,摒棄了傳統(tǒng)儀器操作費(fèi)時(shí)費(fèi)力、人工因素影響大等缺點(diǎn),適用于各個(gè)行業(yè)以及實(shí)驗(yàn)室的需求,在使用中更便利。一般來(lái)說(shuō),水分儀測(cè)量一般樣品只需幾分鐘,檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確,且檢測(cè)效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于烘箱法,避免了因?yàn)槿斯ひ蛩貙?duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生的誤差。除此之外,水分儀還具有測(cè)量水分范圍寬、精度高、顯示清晰、測(cè)量迅速、性能穩(wěn)定、指標(biāo)可靠等優(yōu)點(diǎn),可隨身攜帶在現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)。
  
  超高純度氣體對(duì)于半導(dǎo)體集成電路中所要求得越來(lái)越小的幾何特點(diǎn)具有極其重要的作用。特別是已經(jīng)證實(shí)了的,氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導(dǎo)致瑕疵。所以半導(dǎo)體制造商要求氣體供應(yīng)商清楚地保證水分不能大于1-10ppb,今后會(huì)要求更低的水平。
  
  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)高純度氣體的需求對(duì)氣體供應(yīng)商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn)。微量水分的監(jiān)測(cè)不僅用于大用量氣體,例如氮?dú)?、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣,而且還要監(jiān)測(cè)特殊氣體,例如HCl,HBr,BF3,AsH3,CF4和許多其他氣體。這些氣體往往是高腐蝕性、易反應(yīng)和有毒的。
  
  激光震蕩衰減水分儀是少數(shù)能達(dá)到上述要求的一種基于激光的光譜技術(shù)。基于光腔衰蕩光譜(CRDS)原理的儀器,MTO-1000-H2O,可以準(zhǔn)確、快速地檢測(cè)普通氣體中200ppt的水分,此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。